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光纤激光划片机系列（Fiber laser scribing machine series）SFS10 / SFS20
设备性能
SFS系列光纤激光划片机，是三工科技针对太阳能行业和电子行业加工需要开发的第三代激光切割设备。
该机采用当今国际*的光纤激光器作为工作光源，由计算机控制的二维精密工作台，能按预先设定的各种图形轨迹作相应精确运动。二维精密工作台采用*伺服电机驱动的双层结构，可由计算机系统控制进行各种精确运动。
在具备YAG激光划片机所有性能优点的基础上，与YAG划片机相比，还具有以下特点：
1.光速质量更好（标准基模），切缝更细（10μm），边缘更平整光滑；
2.转换效率更高，运行成本更低（1kVA）；
3.真正免维护，不间断连续运行，无消耗性易损件更换；
4.设备体积更小（风冷）。
应用领域
YAG激光划片机系列广泛应用于：
太阳能行业单晶硅、多晶硅、非晶硅带太阳能电池片（cell）和硅片（wafer）的划片（切割切片）和刻槽。
太阳能行业非晶硅薄膜电池板的刻膜和划线。
电子行业硅、锗、砷化镓等半导体衬底材料的划片和切割。
主要技术参数
激光波长
1.064μm
划片精度
≤±10μm
大划片厚度
1.2mm
划片线宽
≤10μm
激光重复频率
200Hz~50kHz
大划片速度
120mm/s
激光大功率
≥100W
工作台幅面
350×350mm
使用电源
220V/50Hz/5kVA
冷却方式
强迫风冷
工作台
双气仓真空吸附，T型台双工位交替工作
武汉三工光电设备制造有限公司
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电脑版：光纤激光划片机系列
