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工业检测显微镜是近期推出的新型中级检测仪器。
仪器采用落射式同轴照明形式,使用者可以在明场照明下进行观察,也可配接135摄影、数码摄影及定量图像分析系统等。
仪器配备平场物镜及大视场目镜,可以获得清晰平坦的成象。仪器**的是具有超大型载物台,样品可以作大范围纵、横方向移动,可作手推式快速移动及手轮式细微移动。
本仪器主要适用于电子工业作大面积集成电路、晶片、LCD液晶板及金相试样的快速检测和科研等用。
技术参数:
1、物镜:
物 镜
数值孔径(N.A)
有效工作距离W.D(mm)
介 质
4×
0.10
17.912
干
10×
0.25
6.544
干
20×
0.40
1.05
干
40×
0.65
0.736
干
2、目镜:10×
视场直径:18mm
3、总放大倍率:40×~400×
4、载物台面积:350 mm×255 mm
纵向移动行程:200 mm
横向移动行程:200 mm
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