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S-3400N扫描电子显微镜

2020-04-14 00:00
S-3400N扫描电子显微镜
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S-3400N具有*新开发的电子光学系统,强大的自动化功能,操作更简易。

 

特点:

 

1. S-3400N具有强大的自动功能,包括自动灯丝饱和、4偏压、自动枪对中、自动束流设定、
自动合轴自动聚焦和消像散、自动亮度对比度等。

 

2. 在3kV低加速电压时保证有10nm的分辨率。

 

3. 新型5分割高灵敏半导体式背散射探头。

 

4. S-3400N II型具有五轴马达台,倾斜角度可达-20度~+90度,样品*高可达80mm。

 

5. 分析样品仓可以同时安装EDX , WDX 及EBSD。

 

6. 真空系统使用涡轮分子泵,洁净、*。

 

技术指标:

项目描述
SE分辨率3.0nm (30kV),高真空模式 
10nm (3kV), 高真空模式
BSE分辨率4.0nm (30kV),低真空模式
放大倍率x5 ~ x300,000
加速电压0.3 ~ 30 kV
低真空范围6 ~ 270 Pa
大样品尺寸直径200mm
样品台I型 II型
X0 ~ 80mm 0 ~ 100mm
Y0 ~ 40mm 0 ~ 50mm
Z5 ~ 35mm 5 ~ 65mm
R360o 360o
T-20o~ +90o -20o ~ +90o
大样品高度35mm (WD=10mm) 80mm (WD=10mm)
驱动类型手动 五轴马达驱动
灯丝预对中钨灯丝
物镜光栏可移动式4孔物镜光栏
枪偏压固定比例偏压、手动偏压和自动4偏
检测器二次电子检测器
高灵敏度半导体背散射电子检测器
分析位置WD=10mm, TOA=35o
控制鼠标、键盘,手动旋钮
自动调校自动灯丝饱和、自动4偏压、自动枪对中、自动束流设定、自动合轴、自动聚焦 
消像散、自动亮度对比度

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