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上海网磁电子有限公司*供应美国原装、全新 的质量流量计-MFC,BROOKS。*用于制造
单晶硅炉和多晶硅炉设备上面使用,适用的气体
有氮气、氩气、氢气、氧气等纯净气体。
气体的大量程:50-120SLM,数字和模拟兼容
电气接口:D型15针 管道接口:3/8"VCR
交货周期:4周左右,长期订货,周期还会短。
可以完全替代和兼容MKS的相关流量计。
Analog I/O Option:
• 15-pin D-Connector
• 0(1)-5 Volt or 0(4)-20 mA setpoint and flow signals
• Single sided 24 Volt DC power supply
(13.5-27 volts DC range).
• Separate Valve-Override signal
• Precision 5 Volt Reference Output signal
• Compatible with Brooks' Model 0150 series
secondary electronics
• TTL (open collector) Alarm Output signal
Digital Communication Options:
• DeviceNetTM, ODVATM certified
• FOUNDATIONTM Fieldbus, H1 Certified
• HART® based RS-485 multidrop
上海网磁电子有限公司主营:五金机电产品,快速接头,阀门,电子元器件,集成电路,仪器仪表,不锈钢管等;欢迎与我们联系!
电脑版:供应流量计,多晶硅炉用,BROOKS








