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适用对象 金属硅 高纯硅 多晶硅 单晶硅 种类 定向凝固
用途 硅材料提纯
ESOT90系列拉晶炉主要用于半导体材料 高纯材料 超导材料的制备.如硅材料提纯.
多晶硅定向凝固炉（简称结晶炉）Polycrystalline silicon directional solidify furnace(crystallize furnace for short)
用于used in
太阳能级硅锭制造，也可以用于其他半导体材料提纯。
Making solar energy silicon ingot and purifying other transistor materials
特点Feature
控制精度高，结晶速度自由调节
Higher precision for the control and free adjusting crystallize speed
采用感应熔炼法，增加溶液搅拌，熔炼速度快
Adopt induction smelting, increase solution stirring and the smelting speed is fast.
定向凝固保温采用特制加热电源
Adopt specially made heating power for the directional solidify keeping temperature
具有三相电流平衡，维护费用低
There are three-phase current balance and lower maintenance
采用恒温度控制仪，可设置148段加热工艺曲线
Adopt constant temperature control apparatus and you can set 148 heating technology curves
炉室采用三室真空炉体，真空度高，抽气速度快
Adopt three-house vacuum chamber for the furnace with higher vacuum and faster air pump
主要技术参数Main technique parameters
熔炼容量：10-300KG Capacity of smelting
电源功率：50-400KW
Power
升温速率：40℃/Min
Raising temperature speed
炉温均匀性：±5℃
Even quality of furnace temperature
极限真空度：6.67×10-2Pa
Limit vacuum
压升率：
0.01PaL/S
Rate of raising voltage
额定充气压力：0.05Mpa
Rated giving air pressure
铸锭方式：下降定向凝固
The way of ingot casting: Descending directional solidify
伺服控制范围：0.01mm-6mm/Min
Range for serve control
定向凝固速率：0.03mm-0.5mm/Min
Rate of directional solidify
坩埚上升速度：80-100 mm/Min
Raising speed of crucible
株洲湘中工业热力有限公司主营：高频电源;中频电源;超音频电源;中频熔炼炉;中频透热炉;感应淬火设备;硅提纯设备;高温烧结炉;碳化炉;石墨化;欢迎与我们联系！
电脑版：多晶硅定向凝固炉多晶硅铸锭炉拉晶炉
