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机型\项目TG—10-12
TG—14-16
TG—20-24
TG—26-30
TG—32-36
TG—36-40
镀膜室规格
Ǿ
1300-1600*1500-1750mm
Ǿ
1400-1600*1600-2200mm
Ǿ
1500-1600*3500mm
Ǿ
1800-1900*3600mm
Ǿ
2000-2300*3600mm
Ǿ
2300-3000*3000-3600mm
极限真空度
≤7.6×10-4Pa
冷态抽真空时间
从1×105Pa至6.6×10-3Pa≤15分钟
机组配置
KT-600扩散泵机组
KT-630扩散泵机组
KT-800扩散泵机组
2套KT-800扩散泵机组
2套KT-1000扩散泵机组
2套KT-1000扩散泵机组
蒸发源配置
10
12
20
24
32
40
配电要求
60KW
80KW
120KW
160KW
180KW
230KW
厂房要求
一层总高6.5米
一层总高6.5米
一层总高6.5米
二层总高9.2米
二层总高9.5米
一层400平方米
佛山市南海罗村炫辰钛金厂主营：真空镀膜设备;欢迎与我们联系！
电脑版：TG—10-12、TG—26-30
