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机型\项目TG5
TG6-9
镀膜室规格
Ǿ700mm -800mm *800mm -880mm
Ǿ900mm -1000mm *1000mm -1200mm
极限真空度
≤7.6×10-4Pa
冷态抽真空时间
从1×105Pa至6.6×10-3Pa≤15分钟
机组配置
KT-400扩散泵机组
KT-400扩散泵机组
或KT-500扩散泵机组
KT-600扩散泵机组
靶配置
5个电弧靶1个磁控靶
6-9个电弧靶2个磁控靶
2个大面积弧靶2对孪生靶
配电要求
40KW
50KW
60KW
备注
可根据用户产品、产量、膜层特殊要求设计制造非标设备
佛山市南海罗村炫辰钛金厂主营：真空镀膜设备;欢迎与我们联系！
电脑版：TG5、TG6-9
