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XCTG-5+1
XCTG-6～9+2
镀膜室规格
∮700～800mm×800～880mm
∮900～1000mm×1000～1200mm
极限真空度
≤7.6×10-4Pa
冷态抽真空时间
从1×105Pa至6.6×10-3Pa≤15分钟
机组配置
KT-400扩散泵机组
KT-400/ KT-500扩散泵机组
靶配置
5个电弧靶1个磁控靶
6-9个电弧靶2个磁控靶
配电要求
KW
KW
设备用途
适用于各类工具镀镀膜要求，可镀制DLC、TiN、TiCn、CrN、AlTiN、CrAlTiN等功能膜层
备注
可根据用户产品、产量、膜层特殊要求设计制造非标*设备。可加装磁控靶、中频孪生对靶等。
佛山市南海罗村炫辰钛金厂主营：真空镀膜设备;欢迎与我们联系！
电脑版：XCTG-5+1、XCTG-6～9+2
