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无尘室温湿度检测前，洁净空调系统应连续运行24H以上；根据温度和相对湿度的波动范围，应选择足够精度的测试仪表，并经过校验标定合格；测点距地面0.8m，距外墙应大于0.5m，也可以根据恒温区的大小，分别布置在离地面不同高度的几个平面上；根据温湿度波动范围要求，检测易连续进行8-48H，每次读数间隔不大于30min；对有温湿度波动要求的区域，测点应放在送、回风处或具有代表性的地点；对没有恒温要求的房间，温度仅测房间中心一个点即可。
室内照度测定必须在室温已趋稳定，光源输出趋于稳定后进行，对荧光灯必须有100H；测点平面距地面0.85m，按间距1-2m布点，测点距墙面1m，其要求基本与洁净度的测点位置要求相同；照度测定，一般测定除局部照明之外的照明；采用移动式照度计检测。
噪声检测仪器为带倍频程分析仪的声级计，一般情况下只检测A声级的数据，必要时测倍频程声压级；检测点布置，当面积≤50m2时，仅测房间中心一个点，当房间面积较大时，每增加50m2增加一个点，测点距地面1.2m；有条件时，易测量无尘室静态工况的噪声和无尘室的本底噪声。
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