三维轮廓测量仪解决了轮廓仪、测量显微镜、粗糙度计、三次元等传统测量仪器不好完成的一些问题。
*高分辨率0.5nm
颠覆激光位移传感器的新一代超*位移测量计
*小光斑3.4um，可做非接触表面粗糙度或微观2D/3D形貌测量
透明体、非透明或斜坡表面均可测量
可测量透明体厚度，*小可测厚度0.4um
三维轮廓测量仪
Ø 3D表面形貌实时成像
Ø 2D和3D表面几何参数分析
Ø 计算多个距离，角度，点坐标，台阶高度的测量，孔体积测量
Ø 根据*计算表面纹理特征，Ra，Rz，Sq，Smr……
Ø 微断面测量/均匀性分析/表面粗糙度分析/表面波纹度分析/表面形变分析/划痕分析/磨损分析
部分型号技术参数
测头型号 | OP0.15-Fa | OP0.4-Fb | OP1.4-Fb | OP4.0-Fd | OP12.0-Fd |
量程 | 0.15mm | 0.4 mm | 1.4mm | 4.0 mm | 12.0 mm |
工作距离 | 3.35mm | 11.0 mm | 12mm | 16.4 mm | 29 mm |
光斑直径 | 2.7μm | 3.4 μm | 6.8μm | 7.2 μm | 16.5 μm |
重量 | 195g | 190 g | 215g | 155 g | 175 g |
分辨率 | 15nm | 8 nm | 100nm | 50 nm | 180 nm |
精度 | 50nm | 80 nm | 240nm | 300 nm | 900 nm |
*小可测量厚度 | 7.5μm | 16 μm | 38μm | 110 μm | 450 μm |
大可测量厚度 | 175μm | 510 μm | 2000μm | 5700 μm | 16500 μm |
测量模式 | 距离和厚度 | ||||
采样速度 | 100 Hz to 2000Hz | ||||
数字输出 | USB 2.0 and RS232 (up to 460800 baud) | ||||
数字分辨率 | 距离模式: 30 bits | ||||
厚度模式: 15 bits | |||||
同步 | 输入和输出0V - 5V TTL同步信号 | ||||
丰富的触发功能 | |||||
功能 | «双频率»模式 | ||||
«LED自动调节»模式 | |||||
«抓*峰»模式 | |||||
«保持*后值»模式 | |||||
«厚度校正» | |||||
电源/功耗 | 100V to 240 V AC 50-60 Hz / 25W |
型号 | SM-1000 | |
XY平台 | 平台大小 | 200X200mm |
X和Y方向行程 | 100×100mm | |
分辨率 | 0.5μm | |
重复定位精度 | ＜1.4μm | |
大允许负重 | 10Kg | |
扫描速度 | ≤12mm/s | |
扫描间距 | 0.2-72μm自由设置 | |
电器特性 | 适配器额定输入 | 100-240V AC 0.8A 50-60Hz |
控制器额定输入 | 24V DC 1.5A(Max) | |
传感器输入 | 24V DC 3A |
丰富的计测应用：
截面计测
在图像上任意位置划出的直线、曲线，可以计测截面的“高度”、“宽度”、“曲率半径”、“角度”和“截面积”等。
粗糙度计测
在图像上任意位置划出的直线、曲线或任意区域，可以做“线粗糙度”或“面粗糙度”测量。
三维计测
可以测量图像上的任意*区域的体积和表面积，可以对两个相似物体之间比较计测。
二维计测
在平面图像上可以任意点选计测部位，测量“距离”、“角度”和“点坐标”等数据。
台阶高度自动计测
可以自动识别台阶并测量高差，可以设定公差范围并自动判别是否超差。
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