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非接触式厚度测量
透明、非透明样品均可测量
可以获得TTV,LV,Ra等分析数据
精度可达0.1μm
| 传感器采样频率 | 100-10kHz |
| 测头量程 | 100-24000μm |
| 测量精度 | 0.1μm |
| 测量厚度范围 | >0.1μm |
| XY平台大小 | 200×200mm |
| 行程 | 100×100 |
| 大速度 | 14mm/s |
| 分辨率 | 0.044μm |
| 重复精度 | <1.4μm |
| 大允许负重 | 10Kg |
THINKFOCUS官网:http://www.think-focus.com/
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| 传感器采样频率 | 100-10kHz |
| 测头量程 | 100-24000μm |
| 测量精度 | 0.1μm |
| 测量厚度范围 | >0.1μm |
| XY平台大小 | 200×200mm |
| 行程 | 100×100 |
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