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THINKFOCUS 膜厚测量仪 CLS-T150原理
INKFOCUS 膜厚测量仪 CLS-T150是利用光谱共焦法用波长信息测量距离的。由光源射出一束宽光谱的复色光（呈白色），通过色散镜头发生光谱色散，形成不同波长的单色光。每一个波长的焦点都对应一个距离值。测量光射到物体表面被反射回来，只有满足共焦条件的单色光，可以通过小孔被光谱仪感测到。通过计算被感测到的焦点的波长，换算获得距离值。光谱共焦法的同轴共焦原理可以保证即使被测物存在倾斜或者翘曲，也可以进行*的测量，测量点不会改变。
THINKFOCUS 膜厚测量仪 CLS-T150
膜厚测量仪是一款非接触式测量设备。采用全新的超高精密运动装置驱动共焦位移传感器进行在线扫描，主要是用来测量各种薄膜厚度、导电油膜厚度、涂胶厚度、涂层厚度等。专门解决工业上膜厚测量的问题，改善工艺，提高生产效率和质量。
*高扫描速度可以达到50mm/s，线宽15mm。扫描速度可以达到50mm/s，*的测量技术，*的测量算法，±1um的高测量精度，±0.5μm的重复精度可满足您*测量需求。
THINKFOCUS 膜厚测量仪 CLS-T150技术参数
| 型号 | CLS-T150 |
| 测量速度 | ≤50mm/s |
| 测量时间 | ≤2秒/次 |
| 测量点间距 | ≥1μm自由设置 |
| 测量精度 | ±1μm |
| 行程(X方向) | 15mm-40mm（可选） |
| 重复精度（X） | ±0.5μm |
| 量程(Z方向) | 400μm/1400μm/4000μm |
| 精度（Z） | ±0.1μm/0.5μm/1μm |
| *小可测厚度 | 1μm |
| 采样频率 | 100Hz-10kHz |
| 吸合电压 | 24V DC |
| 吸合时间 | 500ms |
| 主机输入电 | 90-264V AC |
| 主机额定功率 | 400W |
| 传感器输入 | 24V DC 3A |
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