砂磨类

蓝宝石抛光液

2020-12-30 00:00
蓝宝石抛光液
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蓝宝石抛光液是以高纯度硅粉为原料,经特殊工艺生产的一种高纯度低的金属离子型抛光产品。

 蓝宝石抛光液主要用于蓝宝石衬底的抛光。还可广泛用于多种材料纳米级的高平坦化抛光,如:硅片、化合物晶体、精密光学器件、宝石等的抛光加工。

 蓝宝石抛光液的特点:

 1.高抛光速率,利用大粒径的胶体二氧化硅粒子达到高速抛光的目的。

 2.高纯度(Cu含量小于50 ppb),有效减小对电子类产品的沾污。

 3.高平坦度加工,蓝宝石抛光液是利用SiO2的胶体粒子进行抛光,不会对加工件造成物理损伤,达到高平坦化加工。

 蓝宝石抛光液根据pH值的不同可分为酸性抛光液和碱性抛光液。

蓝宝石抛光液的型号:

碱性型号(pH:9.8±0.5):SOQ-2A、SOQ-4A、SOQ-6A、SOQ-8A、SOQ-10A、SOQ-12D

酸性型号(pH:2.8±0.5):ASOQ-2A、ASOQ-4A、ASOQ-6A、ASOQ-8A、ASOQ-10A、ASOQ-12D

粒径(nm): 10~30 30~50 50~70 70~90 90~110 110~130

外观: 乳白色或半透明液体

比重 1.15±0.05

组成 SiO2:15~30%

Na2O:≤0.3%

重金属杂质 :≤50 ppb


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