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分子束蒸发源SOURCE-1250用于MBE生长的薄膜

2022-08-22 17:37
分子束蒸发源SOURCE-1250用于MBE生长的薄膜
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分子束蒸发源SOURCE-1250用于在超高真空中制备MBE生长的薄膜 



分子束蒸发源SOURCE-1250特点简介:

分子束蒸发源,用于在超高真空中制备MBE生长的薄膜 

开放式蒸发源,它的设计是为了尽量减少分子束 辐射时的气体排放 

安装法兰盘:ICF070·114等

温度控制:通过PID控制Max1250





分子束蒸发源SOURCE-1250规格:

(1) 坩埚容量:约10cc(唇边约15mm x 57mm)

(2) 坩埚材料PBN

(3) 加热器 高纯度Ta线盘绕

(4) 侧面反射器 5层 高纯度Ta

(5) 加热元件支撑底座 高纯度Mo

(6) 热电偶Pr13

(7) 加热元件的外部形状为φ35X50mm

(8) 工作温度范围300°C至1250°C

(9) 百叶窗的开/关由微型法兰盘旋转导入机完成(标准手动:空气驱动是可选的)

(10) 安装法兰114CF (4.5 "CF)

(11) 加热电源 1KW直流电源,有电流和电压限制

(12) 温度控制器:PID控制方式RT~1800°C,控制精度0.1°C最大

(13) 最高烘烤温度:250°C(拆除电缆和空气驱动装置后)




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